フォトリソ
干渉フィルタ、カバーグラス、インプットレンズ 他
各種 光学部品を取り扱っております。
インプラ
タングステン、モリブデン製のインプラパーツを多数取り扱っております。
エッチング
上部電極、下部電極などのアルミアルマイト製品やクォーツ製品、
セラミック製品、のエッチング用パーツを取り扱っております。
また、ESCの再生(アルミアルマイト、セラミック、ポリイミド)も行っております。
スパッタ
クランプリング(Ti, SUS)、リフトフープやインナーシールド、マグネット再生などのパーツを取り扱っております。
CVD
メタルヒータ、セラミックヒータの再生、ステンレスアルミアルマイト、セラミック、石英などの部品を取り扱っております。
CMP
CMP工程で使われるパッドコンディショナ、リテナーリングを取り扱っております。
洗浄 (スピンドライヤー)
各種 半導体向け洗浄装置を取り扱っております。
その他
加熱用ランプ 各種
照明用ランプ 各種
真空コンポーネント 各種
DIGMESA製流量計を取扱っております
クライオポンプのリペアキット、
メジャーパーツを取扱っております
オゾンアナライザー用ランプ
オリンパス・・・(蛍光X線分析計、超音波厚さ計、超音波探傷器、工業用内視鏡)
蛍光X線 VANTA
超音波探傷器
工業用内視鏡 IPLEX
ミツトヨ・・・(粗さ計、輪郭形状測定機、真円度測定機、硬度計、振動計、地震計)
硬度計 AVK
地震計
大塚電子株式会社・・・瞬間マルチ測光システム
東芝テリー株式会社・・・ハイビジョンカメラ
協和界面科学株式会社・・・接触角計
株式会社ハイロックス・・・デジタルマイクロスコープ
ウェハシート抵抗率測定機
ウェハ移載機
ウェハブローマシン
両面検査顕微鏡
ウェハエッジ検査顕微鏡
ウェハID読み取り機
※各用途に応じた機器の設計販売を行っております。お気軽にお問い合わせください。
レーザー(LASER)
様々な用途のレーザーの修理、再生に対応しております。
お気軽にお問い合わせください。
ターボポンプ(Turbopump)
多種多様なターボポンプの修理、再生に対応しております。
お気軽にお問い合わせください。
各種老朽化対策
- 露光器用CRT置き換え
- ブラウン管型のモニターを液晶ディスプレィに置き換えることが出来ます。
- 販売中止品などのモーター代替えなど
- オリンパスウェハーローダーALの修理