取扱商品
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商品紹介
半導体製造装置部品
フォトリソ
干渉フィルタ、カバーグラス、インプットレンズ 他
各種 光学部品を取り扱っております。
インプラ
タングステン、モリブデン製のインプラパーツを多数取り扱っております。
エッチング
上部電極、下部電極などのアルミアルマイト製品やクォーツ製品、
セラミック製品、のエッチング用パーツを取り扱っております。
また、ESCの再生（アルミアルマイト、セラミック、ポリイミド）も行っております。
スパッタ
クランプリング（Ti, SUS）、リフトフープやインナーシールド、マグネット再生などのパーツを取り扱っております。
ＣＶＤ
メタルヒータ、セラミックヒータの再生、ステンレスアルミアルマイト、セラミック、石英などの部品を取り扱っております。
ＣＭＰ
CMP工程で使われるパッドコンディショナ、リテナーリングを取り扱っております。
その他
加熱用ランプ 各種
照明用ランプ 各種
真空コンポーネント 各種
DIGMESA製流量計を取扱っております
クライオポンプのリペアキット、
メジャーパーツを取扱っております
オゾンアナライザー用ランプ
光学・検査機器[ 顕微鏡、測定器 ]
金属顕微鏡
3Dレーザー顕微鏡
OLS-5000
DSX1000
DSX510
DSX110
エビデント
MX63
エビデント
BX53
エビデント
ウェハーローダーAL120
エビデント
Stream
ミツトヨ
小形顕微鏡ユニット VMU
実体顕微鏡
SZX16
SZX10
SZX7
SZ61
SZ61+SZ2-STU2組合せ
SZ61+SZ2-STU3組合せ
測定顕微鏡
STM7-BSW
測定顕微鏡+画像ユニット
※各種校正業務を承ります。
投影機
※各種校正業務を承ります。
画像測定機
高性能画像測定器
QV
ノンストップ画像測定機
QV STREAM
2次元マニュアル
QI Series
小形CNC
QS Series
三次元測定機
LEGEX
CRYSTA-Apex
MACH
光学・検査機器[ 検査解析機器 ]
エビデント・・・（蛍光X線分析計、超音波厚さ計、超音波探傷器、工業用内視鏡）
ミツトヨ・・・（粗さ計、輪郭形状測定機、真円度測定機、硬度計、振動計、地震計）
大塚電子株式会社・・・瞬間マルチ測光システム
東芝テリー株式会社・・・ハイビジョンカメラ
協和界面科学株式会社・・・接触角計
株式会社ハイロックス・・・デジタルマイクロスコープ
光学・検査機器[ その他 ]
- 各種光学部品（レンズ、フィルター）
- 照明機器
- 真空機器、部品
- 流量計・・・DIGMESA
- 各種コーティング処理
- 環境試験機
- 材料試験機器
- クリーンブース
- 除震台
- 有機汚染物除去システム
GV10ｘダウンストリームアッシャー
オリジナル製品
※各用途に応じた機器の設計販売を行っております。お気軽にお問い合わせください。
サービス業務
レーザー(LASER)
様々な用途のレーザーの修理、再生に対応しております。
お気軽にお問い合わせください。
ターボポンプ(Turbopump)
多種多様なターボポンプの修理、再生に対応しております。
お気軽にお問い合わせください。
各種老朽化対策
- 露光器用CRT置き換え
- ブラウン管型のモニターを液晶ディスプレィに置き換えることが出来ます。
- 販売中止品などのモーター代替えなど
- オリンパスウェハーローダーＡＬの修理
