取扱商品

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半導体製造装置部品

フォトリソ
11-5
干渉フィルタ、カバーグラス、インプットレンズ 他
各種 光学部品を取り扱っております。

インプラ
22-2-3
22-2-4
タングステン、モリブデン製のインプラパーツを多数取り扱っております。

エッチング
24-6
24-5
24-4
上部電極、下部電極などのアルミアルマイト製品やクォーツ製品、
セラミック製品、のエッチング用パーツを取り扱っております。
また、ESCの再生(アルミアルマイト、セラミック、ポリイミド)も行っております。

スパッタ
20-6
20-7
クランプリング(Ti, SUS)、リフトフープやインナーシールド、マグネット再生などのパーツを取り扱っております。

CVD
21-10
21-11
21-5

21-12
21-13

メタルヒータ、セラミックヒータの再生、ステンレスアルミアルマイト、セラミック、石英などの部品を取り扱っております。

CMP
28-1
28-2
CMP工程で使われるパッドコンディショナ、リテナーリングを取り扱っております。

洗浄 (スピンドライヤー)
11-5
各種 半導体向け洗浄装置を取り扱っております。

その他
13-4
加熱用ランプ 各種
13-6
照明用ランプ 各種
12-2
真空コンポーネント 各種

13-8
DIGMESA製 流量計(写真:FHKUシリーズ)
各種 DIGMESA製流量計の取扱っております
13-9
クライオポンプのリペアキット、
メジャーパーツを取扱を行っております
13-10

13-11
オゾンアナライザー用ランプ

光学・検査機器[ 顕微鏡、測定器 ]

金属顕微鏡
オリンパス
DSX500
1-DSX500
オリンパス
DSX100
1-DSX100
オリンパス
MX61
1-mx61
オリンパス
MX51
1-mx51
オリンパス
BX51
1-szx7
オリンパス
MX61+AL120
1-AL120-MX61
オリンパス
Stream
1-Stream
ミツトヨ
小形顕微鏡ユニット VMU
1-VMU

実体顕微鏡
オリンパス
SZX16
2-szx16
オリンパス
SZX10
2-szx10
オリンパス
SZX7
2-szx7

オリンパス
SZ61
2-sz61
オリンパス
SZ61+SZ2-STU2組合せ
2-SZ61+SZ2-STU2
オリンパス
SZ61+SZ2-STU3組合せ
2-SZ61+SZ2-STU3

ミツトヨ
実体顕微鏡 MSM400
2-MSM400

レーザー顕微鏡
オリンパス
LEXT OLS-4000
3-OLS-4000

測定顕微鏡
オリンパス
STM6-PLUS
4-STM6-PLUS
オリンパス
STM6-LM
4-STM6-LM
オリンパス
STM6
4-STM6
ミツトヨ
Hyper-MF
4-HyperMF
ミツトヨ
MFシリーズ
4-MF
ミツトヨ
測定顕微鏡+画像ユニット
4-ImageUnit
※各種校正業務を承ります。

投影機
ミツトヨ PH-3515F
5-PH-3515F
ミツトヨ PJ-H30
5-PJ-H30
ミツトヨ PJ-A3000
5-PJ-A3000
※各種校正業務を承ります。


画像測定機
ミツトヨ
QS-LAF/B・QS-LZB
QS-EB Series
6-QS-LAF
ミツトヨ
2次元マニュアル
QI Series
6-2D-QI
ミツトヨ
小形CNC
QS Series
6-CNC-QS

ミツトヨ
CNC QV Series
6-CNC-QV
ミツトヨ
CNC QV ELF Series
6-CNC-QV-ELF

三次元測定機
ミツトヨ
LEGEX
7-LEGEX
ミツトヨ
STRATO-Apex
7-STRATO-Apex
ミツトヨ
FALCIO Apex
7-FALCIO

ミツトヨ
MACHシリーズ
7-MACH
ミツトヨ
Crysta-Apex
7-Crysta-Apex
ミツトヨ
Spine Arm
7-SA-A

光学・検査機器[ 検査解析機器 ]

ミツトヨ・・・(粗さ計、輪郭形状測定機、真円度測定機、硬度計、振動計、地震計)

硬度計 AVK-C0
27-AVK-C0-1
地震計 DAS-410
27-DAS-410-1
大塚電子株式会社・・・瞬間マルチ測光システム

27-MCPD-9800
東芝テリー株式会社・・・ハイビジョンカメラ
協和界面科学株式会社・・・接触角計
株式会社ハイロックス・・・デジタルマイクロスコープ

大日本スクリーン製造株式会社・・・膜厚計

27-1

光学・検査機器[ その他 ]

  • 各種光学部品(レンズ、フィルター)
  • 照明機器
  • 真空機器、部品
  • 流量計・・・ディグメサ、東京フローメーター
  • 各種コーティング処理
  • 環境試験機
  • 材料試験機器
  • クリーンブース・・・ダルトン
    27-2
  • 除震台・・・特許機器
    27-3
  • 有機汚染物除去システム
    GV10xダウンストリームアッシャー
    27-5

オリジナル製品

ウェハシート抵抗率測定機
15-6
ウェハ移載機
15-7

ウェハブローマシン
15-2
両面検査顕微鏡
15-1

ウェハエッジ検査顕微鏡
15-5
ウェハID読み取り機
15-3


※各用途に応じた機器の設計販売を行っております。お気軽にお問い合わせください。

サービス業務

レーザー関連
様々な用途のレーザーの修理、再生に対応しております。
お気軽にお問い合わせください。

Turbopump関連
多種多様なターボポンプの修理、再生に対応しております。
お気軽にお問い合わせください。

各種老朽化対策
  • 露光器用CRT置き換え
  • ブラウン管型のモニターを液晶ディスプレィに置き換えることが出来ます。
  • 販売中止品などのモーター代替えなど