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半導体製造装置部品

フォトリソ
11-5
干渉フィルタ、カバーグラス、インプットレンズ　他
各種 光学部品を取り扱っております。
インプラ
22-2-3
22-2-4
タングステン、モリブデン製のインプラパーツを多数取り扱っております。
エッチング
24-6
24-5
24-4
上部電極、下部電極などのアルミアルマイト製品やクォーツ製品、
セラミック製品、のエッチング用パーツを取り扱っております。
また、ESCの再生（アルミアルマイト、セラミック、ポリイミド）も行っております。
スパッタ
20-6
20-7
クランプリング（Ti, SUS）、リフトフープやインナーシールド、マグネット再生などのパーツを取り扱っております。
ＣＶＤ
21-10
21-11
21-5
21-12
21-13
メタルヒータ、セラミックヒータの再生、ステンレスアルミアルマイト、セラミック、石英などの部品を取り扱っております。
ＣＭＰ
28-1
28-2
CMP工程で使われるパッドコンディショナ、リテナーリングを取り扱っております。
その他
13-4
加熱用ランプ　各種
13-6
照明用ランプ　各種
12-2
真空コンポーネント　各種
13-8
DIGMESA製流量計を取扱っております
13-9
クライオポンプのリペアキット、
メジャーパーツを取扱っております
13-10
13-11
オゾンアナライザー用ランプ