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半導体製造装置部品

フォトリソ
11-5
干渉フィルタ、カバーグラス、インプットレンズ 他
各種 光学部品を取り扱っております。

インプラ
22-2-3
22-2-4
タングステン、モリブデン製のインプラパーツを多数取り扱っております。

エッチング
24-6
24-5
24-4
上部電極、下部電極などのアルミアルマイト製品やクォーツ製品、
セラミック製品、のエッチング用パーツを取り扱っております。
また、ESCの再生(アルミアルマイト、セラミック、ポリイミド)も行っております。

スパッタ
20-6
20-7
クランプリング(Ti, SUS)、リフトフープやインナーシールド、マグネット再生などのパーツを取り扱っております。

CVD
21-10
21-11
21-5

21-12
21-13

メタルヒータ、セラミックヒータの再生、ステンレスアルミアルマイト、セラミック、石英などの部品を取り扱っております。

CMP
28-1
28-2
CMP工程で使われるパッドコンディショナ、リテナーリングを取り扱っております。

洗浄 (スピンドライヤー)
11-5
各種 半導体向け洗浄装置を取り扱っております。

その他
13-4
加熱用ランプ 各種
13-6
照明用ランプ 各種
12-2
真空コンポーネント 各種

13-8
DIGMESA製 流量計(写真:FHKUシリーズ)
各種 DIGMESA製流量計の取扱っております
13-9
クライオポンプのリペアキット、
メジャーパーツを取扱を行っております
13-10

13-11
オゾンアナライザー用ランプ